反应性等离子源镀膜机

SPOC-1100T

SPOC-1100T系列是用于制造DWDM用窄带滤光片的最合适的真空镀膜系统。能进行高精度的光学多层膜镀膜，生产光通信用的滤光片。 SPOC-1100R是用于截止滤光片,分束器,抗反射膜等光学镀膜机。

特長
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利用高精度反射光学膜厚计实时测定和控制成膜时的膜厚
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利用高速基板旋转机构提高膜的均匀性
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搭载双电子枪并加大型坩埚，能对应超多层薄膜
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配上OPTORUN`产离子源实现高蒸发速率，提高生产率

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