离子源

OIS-One/OIS-Two/OIS-Two Plus

17cm RF Ion Source

OIS-One是光驰自行开发的离子辅助蒸度高性能射频（RF）离子源，最适于在高速率下的离子束辅助沉积（IAD）及清洗。搭载在光驰的成膜设备OTFC-1100,OTFC-1300上最适于各种光学滤光片的中规模量产。

OIS-Two Plus是OIS-Two的延伸机型。在离子辅助蒸镀大电流大面积的性能方面加以进化的RF离子源，维护性能的优化及中和器的改良，提高冷却效率来达到稳定生产的效果。适用于在高速率下离子束辅助沉积（ＩＡＤ）及清洗。搭载在光驰的ＯＴＦＣ-1300，ＯＴＦＣ-1550成膜设备上可适合于各种光学滤光片的大规模量产。

特長
■
同使用灯丝型的离子源比较，寿命长，污染少。
■
高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1150mm以上
■
动作安定性高，能长时间运转

规格

型号 OIS-One OIS-Two OIS-Two Plus
尺寸 φ300mm × 150mm (H)
栅网尺寸 Ф 17cm(Molybdenum制3枚)
离子束电压 100V～1500V
离子束电流 1000mA 1200mA
Acc电压 100V～1000V
RF功率 600W 750W 1000W
气体流量 20sccm～30sccm（氩气）
40sccm～60sccm（氧气）
使用压力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF线圈和本体
　

中和器规格

尺寸 φ 6cm × 8cm φ 7cm × 12cm
发射电流 1500mA 2000mA 2400mA
RF功率 150W(max)
气体流量 5sccm～10sccm（氩气）
　

pagetop