离子源

OIS-Three/OIS-Three Plus

RF Ion Source

OIS-Three/ OIS-Three Plus是离子辅助蒸镀的RF离子源，拥有世界最大级的照射离子束，可以均匀照射Ф1600伞架。适合高速率下的真空蒸着及基板清洁。搭载在OTFC-1800光学镀膜机上，最适合于各种高性能光学滤光片的大批量生产。

特長
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新开发的特殊栅网，寿命长
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同使用灯丝型的离子源相比，寿命长，污染少
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高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1600mm以上
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动作安定性高，能长时间运转

规格

型号 OIS-Three OIS-Three Plus
尺寸 φ 390mm × 215mm(H)
栅网尺寸 Ф 23cm(Molybdenum制3枚)
离子束电压 100V～1500V
离子束电流 1800mA 2400mA
Acc电压 100V～1000V
RF功率 2000W
气体流量 20sccm～40sccm（氩气）
40sccm～80sccm（氩气）
使用压力 5 × 10-2 Pa
水冷方式 RF线圈和本体
　

中和器规格

尺寸 φ 7cm × 12cm
发射电流 2800mA(max)
RF功率 150W(max）
气体流量 5sccm～10sccm（氩气）
　

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