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关于OTFC系統
OTFC-900

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

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真空室尺寸:Φ600-1800mm
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60点/80点式光学膜厚监控
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使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
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搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
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利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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工件架可选择钟罩式或行星式
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排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称 | OTFC-900CBI/DBI |
真空室 | SUS304, φ900mm×1300mm (H) |
工件架 | φ 790mm |
工件架转速 | 10 rpm to 30 rpm (可变) |
光学膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪 波长范围:350nm to 1100nm 反射式/透射式可选 |
水晶式膜厚计 | XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源 | 电子枪2套 |
离子源 | 10cm RF 离子源 |
排气系统 | 机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵) |
性能
达到压力 | 7.0 × 10-5 Pa 以下 |
排气时间 | 15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa) |
基板温度 | 最高:350℃ |
工作条件
设备尺寸 | 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. |
电源 | 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA |
水流量 | 80升/分以上 |
空气压力 | 0.5MPa 以上 |
重量 | 约5400kg |