关于OTFC系統

OTFC-1100

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

■

真空室尺寸：Φ600-1800mm

■

60点/80点式光学膜厚监控

■

使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

■

搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上

■

利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

■

工件架可选择钟罩式或行星式

■

排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

设备名称	OTFC-1100CBI/DBI
真空室	SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件架	φ950mm
工件架转速	10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制	HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to 1100nm 反射式/透射式可选
水晶式膜厚计	XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源	电子枪2套
离子源	17cmRF离子源
排气系统	机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）