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特殊仕様光学薄膜形成装置
OTFC-IR
OTFC-IR は、赤外線フィルタ成膜用に最適に設計されています。波長1700 ~ 5500nm で光学膜厚を監視・制御し成膜することが可能です。
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光学膜厚計 波長範囲1700 ~ 5500nm 波長分解能3 ~ 50nm 可変
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光学膜厚計 赤外波長での高い光量安定性± 0.05%以下を実現
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最適装置設計により、高性能、高品質、高再現性の赤外線フィルタ成膜を実現