オプトランの製品ラインアップ
成膜装置
イオンアシスト蒸着装置

リアクティブプラズマ蒸着装置

メタルモードスパッタリング装置

原子層堆積装置

コンポーネント
イオンソース

光学モニター

特殊仕様光学薄膜形成装置

OTFC-LED

本装置は、LED チップ向けの成膜装置です。LED チップ上に各種の高機能膜を成膜します。

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LED 用光学薄膜の製作に最適な設計

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電極、保護層、透明導電膜、誘電体反射膜、金属反射膜などを成膜

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IAD で耐環境性の高い膜を成膜。低温でのITO 成膜が可能

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