ガスクラスターイオントリミング装置

GCIB

ガスクラスターイオンビームを利用したトリミング装置で、RFフィルタの周波数調整における膜厚制御に適しています。
最大Φ200mmのウェハに対応し、高精度の膜厚トリミング制御により歩留まり改善を実現します。

■

EFEM搭載、カセットtoカセット仕様

■

加速エネルギー：最大60kV

■

独自シミュレーションソフトで最適なエッチング量を算出

■

高精度スキャンシステムで高精度なエッチング制御

■

オプションで光学式膜厚測定器を搭載可能