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イオンアシスト蒸着装置
Gener-2750
Gener-2750は加飾膜、反射防止膜（AR）、防汚膜（AS）を成膜する大型IAD装置です。
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ドーム径φ2640
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高いスループット・大量生産を実現
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高い再現性と均一な分布を実現
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ワンプロセスでAR＋AS膜が可能
仕様
| 真空チャンバ | φ2750mm × H1880mm |
| 基板ドーム | φ 2640mm, 4 分割式 |
| 基板ドーム回転速度 | 20rpm |
| 水晶式膜厚計 | 6点式水晶モニタ |
| 蒸発源 | 電子銃１基、可動式AS源 |
| イオンソース | RFイオンソース |
性能
| 到達圧力 | 7.0 × 10-5Pa以下 |
| 排気時間 | 15分以下（大気から 1.3 × 10-3Pa まで） |
