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2025年
2025年04月14日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2025/04/14
(442KB)
2025年03月31日
支配株主等に関する事項について
(265KB)
2025年03月25日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(239KB)
2025年03月25日
有価証券報告書 - 第26期(2024/01/01 - 2024/12/31)
(564KB)
2025年03月18日
自己株式の公開買付けの結果及び取得終了に関するお知らせ
(282KB)
2025年03月03日
その他の関係会社の異動に関するお知らせ
(275KB)
2025年03月03日
第26期定時株主総会招集通知/株主総会資料
(1,166KB)
2025年03月03日
第26期定時株主総会招集通知及び株主総会資料(法令及び定款に基づく交付書面に記載しない事項)
(373KB)
2025年02月14日
2024年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(437KB)
2025年02月14日
役員の異動に関するお知らせ
(248KB)
2025年02月14日
2024年12月期 決算説明資料
(7,840KB)
2025年02月14日
自己株式の取得及び自己株式の公開買付けに関するお知らせ
(279KB)
2025年02月14日
当社及びAIメカテック株式会社(証券コード:6227)との資本業務提携契約締結並びに買集め行為に該当する株式取得に関するお知らせ
(170KB)
2025年01月31日
譲渡制限付株式としての自己株式処分の払込完了及び一部失権に関するお知らせ
(187KB)
2025年01月27日
役員の異動に関するお知らせ
(231KB)
2024年
2024年12月27日
自己株式の取得状況及び取得終了に関するお知らせ
(162KB)
2024年12月24日
当社従業員等に対する譲渡制限付株式としての自己株式の処分に関するお知らせ
(229KB)
2024年12月10日
自己株式の取得状況に関するお知らせ
(161KB)
2024年11月12日
2024年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(365KB)
2024年11月12日
業績予想の修正に関するお知らせ
(176KB)
2024年11月12日
2024年12月期 第3四半期決算説明資料
(6,723KB)
2024年11月12日
自己株式の取得状況に関するお知らせ
(166KB)
2024年10月07日
自己株式の取得状況に関するお知らせ
(90KB)
2024年09月09日
自己株式の取得状況に関するお知らせ
(166KB)
2024年08月08日
2024年12月期 第2四半期(中間期)決算短信〔日本基準〕(連結)
(342KB)
2024年08月08日
自己株式取得に係る事項の決定に関するお知らせ
(94KB)
2024年08月08日
半期報告書−第26期(2024/01/01−2024/12/31)
(93KB)
2024年05月13日
四半期報告書 - 第26期第1四半期(2024/01/01 - 2024/03/31)
(79KB)
2024年05月13日
2024年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(318KB)
2024年04月12日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2024/04/12
(445KB)
2024年03月22日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(224KB)
2024年03月22日
有価証券報告書 - 第25期(2023/01/01 - 2023/12/31)
(535KB)
2024年03月11日
役員の異動に関するお知らせ
(218KB)
2024年02月29日
第25期定時株主総会招集通知/株主総会資料
(1,143KB)
2024年02月29日
第25期定時株主総会招集通知及び株主総会資料(法令及び定款に基づく交付書面に記載しない事項)
(316KB)
2024年02月21日
(訂正) 「役員の異動に関するお知らせ」の一部訂正について
(231KB)
2024年02月20日
役員の異動に関するお知らせ
(243KB)
2024年02月13日
2023年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(400KB)
2023年
2023年11月13日
四半期報告書 - 第25期第3四半期(2023/07/01 - 2023/09/30)
(81KB)
2023年11月13日
2023年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(337KB)
2023年10月24日
当社従業員に対する譲渡制限付株式としての自己株式の処分に関するお知らせ
(228KB)
2023年08月09日
四半期報告書 - 第25期第2四半期(2023/04/01 - 2023/06/30)
(92KB)
2023年08月09日
2023年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(349KB)
2023年08月09日
営業外費用(デリバティブ評価損)の計上に関するお知らせ
(94KB)
2023年07月12日
ベトナム新子会社に関するお知らせ
(165KB)
2023年05月23日
AIメカテック株式会社との合弁会社設立に関するお知らせ
(239KB)
2023年05月11日
四半期報告書 - 第25期第1四半期(2023/01/01 - 2023/03/31)
(79KB)
2023年05月11日
2023年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(336KB)
2023年04月19日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2023/04/13
(206KB)
2023年03月28日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(219KB)
2023年03月28日
有価証券報告書 - 第24期(2022/01/01 - 2022/12/31)
(521KB)
2023年03月10日
その他の関係会社の異動に関するお知らせ
(274KB)
2023年03月06日
第24期定時株主総会招集通知及び株主総会資料
(1,211KB)
2023年03月06日
第24期定時株主総会招集通知及び株主総会資料(法令及び定款に基づく交付書面に記載しない事項)
(305KB)
2023年02月21日
役員の異動に関するお知らせ
(267KB)
2023年02月21日
業績条件型譲渡制限付株式報酬制度の導入に関するお知らせ
(234KB)
2023年02月13日
2022年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(417KB)
2022年
2022年12月20日
ベトナム新子会社設立に関するお知らせ
(182KB)
2022年11月22日
当社従業員に対する譲渡制限付株式としての自己株式の処分に関するお知らせ
(228KB)
2022年11月10日
四半期報告書 - 第24期第3四半期(令和4年7月1日 - 令和4年9月30日)
(88KB)
2022年11月10日
2022年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(350KB)
2022年11月10日
業績予想及び配当予想の修正に関するお知らせ
(123KB)
2022年08月05日
四半期報告書 - 第24期第2四半期(令和4年4月1日 - 令和4年6月30日)
(103KB)
2022年08月05日
2022年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(358KB)
2022年07月07日
ALD 装置事業の本格体制構築・土地取得の件
(138KB)
2022年05月12日
四半期報告書 - 第24期第1四半期(令和4年1月1日 - 令和4年3月31日)
(86KB)
2022年05月12日
2022年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(351KB)
2022年04月12日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2022/04/12
(210KB)
2022年03月30日
支配株主等に関する事項について
(262KB)
2022年03月30日
研究開発施設の取得に関するお知らせ
(168KB)
2022年03月29日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(204KB)
2022年03月29日
有価証券報告書 - 第23期(令和3年1月1日 - 令和3年12月31日)
(516KB)
2022年03月10日
第23期定時株主総会招集通知
(1,432KB)
2022年03月10日
第23期定時株主総会インターネット開示事項
(306KB)
2022年02月22日
定款の一部変更に関するお知らせ
(196KB)
2022年02月22日
代表取締役及び役員の異動に関するお知らせ
(230KB)
2022年02月14日
2021年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(397KB)
2021年
2021年12月24日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/12/24
(208KB)
2021年11月09日
四半期報告書 - 第23期第3四半期(令和3年7月1日 - 令和3年9月30日)
(86KB)
2021年11月09日
2021年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(359KB)
2021年10月19日
当社従業員に対する譲渡制限付株式としての自己株式の処分に関するお知らせ
(177KB)
2021年10月06日
近況報告(中国市場マーケティング・新型コロナ対策)
(165KB)
2021年09月28日
(開示事項の経過)新会社設立に関するお知らせ
(156KB)
2021年09月16日
新規大手取引先から初のALD装置受注獲得のお知らせ
(114KB)
2021年09月02日
新市場区分における「プライム市場」選択申請に関するお知らせ
(116KB)
2021年08月24日
業績予想の修正に関するお知らせ
(175KB)
2021年08月06日
2021年度「JPX 日経インデックス400」構成銘柄への選定に関するお知らせ
(134KB)
2021年08月05日
四半期報告書 - 第23期第2四半期(令和3年4月1日 - 令和3年6月30日)
(98KB)
2021年08月05日
2021年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(353KB)
2021年07月09日
新市場区分における上場維持基準への適合状況に関する一次判定結果受領のお知らせ
(78KB)
2021年06月29日
光学デバイス向けドライエッチング装置を実用化
(148KB)
2021年06月23日
新会社設立に関するお知らせ
(162KB)
2021年05月11日
四半期報告書 - 第23期第1四半期(令和3年1月1日 - 令和3年3月31日)
(82KB)
2021年05月11日
2021年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(244KB)
2021年04月30日
過年度の有価証券報告書の訂正報告書の提出に関するお知らせ
(189KB)
2021年04月12日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2021/04/12
(194KB)
2021年03月30日
支配株主等に関する事項について
(229KB)
2021年03月24日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(177KB)
2021年03月24日
有価証券報告書 - 第22期(令和2年1月1日 - 令和2年12月31日)
(472KB)
2021年03月05日
第22期定時株主総会招集通知
(1,227KB)
2021年03月05日
招集通知記載事項の修正について
(116KB)
2021年03月05日
第22期定時株主総会インターネット開示事項
(478KB)
2021年02月16日
役員の異動に関するお知らせ
(205KB)
2021年02月12日
2020年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(313KB)
2020年
2020年12月22日
人事異動に関するお知らせ
(190KB)
2020年11月10日
四半期報告書 - 第22期第3四半期(令和2年7月1日 - 令和2年9月30日)
(83KB)
2020年11月10日
2020年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(254KB)
2020年10月21日
当社従業員に対する譲渡制限付株式としての自己株式の処分に関するお知らせ
(179KB)
2020年10月08日
早稲田大学とのバイオセンサー及びBAWフィルター等共同開発について
(111KB)
2020年09月25日
業績予想及び配当予想の修正に関するお知らせ
(184KB)
2020年08月06日
四半期報告書 - 第22期第2四半期(令和2年4月1日 - 令和2年6月30日)
(89KB)
2020年08月06日
新型装置受注に関するお知らせ
(150KB)
2020年08月06日
2020年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(265KB)
2020年06月25日
新型・光通信用光学薄膜装置の受注本格化について
(98KB)
2020年05月13日
2020年第1四半期決算説明会 QAサマリーを掲載しました。
(216KB)
2020年05月11日
四半期報告書 - 第22期第1四半期(令和2年1月1日 - 令和2年3月31日)
(79KB)
2020年05月11日
2020年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(250KB)
2020年04月23日
弊社の事業の状況について
(181KB)
2020年04月21日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(184KB)
2020年04月09日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2020/04/09
(205KB)
2020年03月30日
支配株主等に関する事項について
(230KB)
2020年03月25日
有価証券報告書 - 第21期(平成31年1月1日 - 令和1年12月31日)
(517KB)
2020年03月24日
新型コロナウイルスの影響等について
(124KB)
2020年03月06日
第21期定時株主総会招集通知
(1,533KB)
2020年03月06日
第21期定時株主総会インターネット開示事項
(473KB)
2020年02月18日
役員の異動に関するお知らせ
(202KB)
2020年02月13日
2019年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(314KB)
2020年01月21日
新型・光通信用DWDM真空成膜装置開発完了について
(111KB)
2019年
2019年11月14日
本日の一部新聞報道について
(163KB)
2019年11月08日
四半期報告書 - 第21期第3四半期(令和1年7月1日 - 令和1年9月30日)
(80KB)
2019年11月08日
2019年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(238KB)
2019年09月03日
両面スパッタ装置の開発完了について
(77KB)
2019年08月23日
ALD 装置の開発完了について
(84KB)
2019年08月07日
四半期報告書 - 第21期第2四半期(平成31年4月1日 - 令和1年6月30日)
(90KB)
2019年08月07日
2019年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(247KB)
2019年05月10日
四半期報告書 - 第21期第1四半期(平成31年1月1日 - 平成31年3月31日)
(80KB)
2019年05月10日
2019年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(242KB)
2019年04月09日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2019/04/09
(202KB)
2019年03月30日
支配株主等に関する事項について
(160KB)
2019年03月27日
有価証券報告書 - 第20期(平成30年1月1日 - 平成30年12月31日)
(515KB)
2019年03月27日
譲渡制限付株式報酬としての自己株式の処分に関するお知らせ
(174KB)
2019年03月13日
主要株主の異動に関するお知らせ
(157KB)
2019年03月12日
主要株主の異動の予定に関するお知らせ
(156KB)
2019年03月08日
第20期定時株主総会招集通知
(1,298KB)
2019年02月22日
人事異動に関するお知らせ
(102KB)
2019年02月19日
代表取締役の異動及び役員の異動に関するお知らせ
(102KB)
2019年02月19日
役員退職慰労金制度の廃止及び譲渡制限付株式報酬制度の導入に関するお知らせ
(106KB)
2019年02月13日
平成30年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(314KB)
2019年02月13日
剰余金の配当に関するお知らせ
(78KB)
2019年02月13日
新型装置開発完了及び受注の本格化について
(95KB)
2018年
2018年12月26日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2018/12/26
(202KB)
2018年11月14日
2018年12月期 第3四半期決算補足説明資料
(564KB)
2018年11月08日
四半期報告書 - 第20期第3四半期(平成30年7月1日 - 平成30年9月30日)
(82KB)
2018年11月08日
業績予想及び配当予想の修正に関するお知らせ
(94KB)
2018年11月08日
平成30年12月期 第3四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(240KB)
2018年11月01日
東京オフィス開設のお知らせ
(71KB)
2018年09月10日
新型水平スパッタ装置の開発完了について
(78KB)
2018年08月09日
四半期報告書 - 第20期第2四半期(平成30年4月1日 - 平成30年6月30日)
(88KB)
2018年08月09日
平成30年12月期 第2四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(246KB)
2018年06月25日
早稲田大学におけるベンチャー育成プログラムへの支援について
(85KB)
2018年06月04日
上海工場の研究開発施設拡充と増産体制確保について
(78KB)
2018年05月11日
四半期報告書 - 第20期第1四半期(平成30年1月1日 - 平成30年3月31日)
(77KB)
2018年05月11日
平成30年12月期 第1四半期決算短信〔日本基準〕(連結)
(232KB)
2018年04月06日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2018/04/06
(201KB)
2018年04月02日
大阪大学とのバイオセンサー等共同開発について
(77KB)
2018年03月30日
支配株主等に関する事項について
(146KB)
2018年03月28日
有価証券報告書 - 第19期(平成29年1月1日 - 平成29年12月31日)
(776KB)
2018年03月28日
執行役員の異動に関するお知らせ
(89KB)
2018年03月23日
当社株式の貸借銘柄選定に関するお知らせ
(86KB)
2018年03月08日
第19期定時株主総会招集通知
(1,384KB)
2018年02月13日
平成29年12月期 決算短信〔日本基準〕(連結)
(287KB)
2018年02月13日
剰余金の配当に関するお知らせ
(79KB)
2017年
2017年12月26日
第三者割当による自己株式の処分の結果に関するお知らせ
(133KB)
2017年12月20日
コーポレート・ガバナンスに関する報告書 2017/12/20
(200KB)
2017年12月20日
東京証券取引所市場第一部への上場に伴う当社決算情報等のお知らせ
(332KB)
2017年12月20日
その他の関係会社の異動に関するお知らせ
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