原子層堆積装置

ALDER-1000

ALDER-1000は従来の成膜手法では成しえなかった光学特性を実現します。立体形状への成膜が可能で、カメラレンズへのAR膜はゴースト・フレアの消えた鮮明な映像を作り出します。

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可視光領域で0,1％を下回る極低反射率コーティング

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急峻な立体構造表面へのコンフォーマル成膜

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大曲率レンズ両面への広入射角ARコーティング

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低温プラズマによるプラスチックレンズへの成膜

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φ350 ウェハ×40 枚の同時成膜による高生産性

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ゴースト・フレアが消えたリアルかつ鮮明な画像を実現

真空チャンバ	W900mm × D900mm ×H1150mm
成膜ボックス	W374mm × D700mm ×H800mm
回転式基板ラック	φ350ホルダ × 40段、30rpm
プラズマ源	ICP（誘導結合プラズマ）
前駆体供給源	前駆体容器、ALDバルブ、前駆体（TMA、3DMAS、TiCI4ほか）
排気システム	ドライポンプ