原子層堆積装置

ALDER-800TBS

ALDER-800TBS(A800TBS)は大容量ロードロック機構を有し、高いスループット、高い均一性、優れた再現性を実現するサーマルモードALD装置です。

特長
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LED用途などハイスループットALDに対応した設計
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再現性良く、高い均一性の成膜プロセスを実現
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6秒以下の高速ALDサイクル
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ロングメンテナンスサイクル

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