イオンソース

OIS-ES

エレクトロンソース

電子源として高い電流密度が得られる為、プラズマ密度の増加、プラズマプロセスのチャージアップ防止に優れた効果があります。

放電方式にRF 励起を採用しているため、酸素プロセスでも長時間安定動作かつコンタミレス。最大2 台同時制御が可能。

仕様

ニュートラライザー	RFN-3A
エミッション電流	3000mA
最大RF パワー	150W
コントローラー	OIS-ESC
ニュートラライザーDC	OISN-Ⅱ
ニュートラライザーRF	AX300Ⅲ (300W)