特殊仕様光学薄膜形成装置

OTFC-LED

本装置は、LED チップ向けの成膜装置です。LED チップ上に各種の高機能膜を成膜します。
特長
LED 用光学薄膜の製作に最適な設計
電極、保護層、透明導電膜、誘電体反射膜、金属反射膜などを成膜
IAD で耐環境性の高い膜を成膜。低温でのITO 成膜が可能