特殊仕様光学薄膜形成装置

OTFC-PX

OTFC-PXは遊星回転機構とイオンソースを搭載しリフレクターや高曲率のレンズに対応した薄膜形成装置です。
特長
遊星回転機構により面内分布が向上
基板ドーム角度は可変しレンズ曲率にあわせ傾けることが可能
IAD により膜質が向上
光学膜厚システムにより球面状基板でも均一性の高い成膜を実現
大型チャンバ(チャンバーサイズφ1800)に搭載された遊星回転機構が生産性をアップ